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Magma EFI HiRes

作者:北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司
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名稱:磁場(chǎng)成像顯微鏡

品牌:Neocera

產(chǎn)地:美國

型號(hào):Magma EFI HiRes


Magma磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng)(簡稱Magma)是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套傳感器和技術(shù),可以檢測(cè)和定位靜態(tài)缺陷。

Magma具有極大的可靠性,適用于探測(cè)開路、短路、漏電和高電阻開路的位置。此外,磁場(chǎng)成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多層器件。

在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域,Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷(短路、漏電和開路)。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件,包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。

新型平臺(tái)的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入,以提供用戶友好型的設(shè)置和操作,以及更高的工作量和更低的運(yùn)營成本。

基礎(chǔ)配置:配備高靈敏度的SQUID傳感器,用于低電流、無損檢測(cè)短路、漏電和高電阻開路??蓪?shí)現(xiàn)低成本定位,用于檢測(cè)封裝器件和PC板中的短路及漏電。

 EFI工具:能夠以極高的精確度檢測(cè)失效的開路故障。

 HiRes工具:將兩個(gè)傳感器組合成一個(gè)工具。在靠近電流掃描時(shí),SQUID傳感器用于檢測(cè)盡可能最小的電流,磁阻傳感器用于獲得較好的空間分辨率。因此,其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn):空間定位和靈敏度。



特點(diǎn)

 詳情

SQUID 傳感器

短路缺陷定位(SQUID)

3um

空間分辨率 (SQUID)

2um

總掃描面積 (SQUID)

至\少 100mm by 100mm

當(dāng)前靈敏度 (SQUID)

·  500nA @ 333um

·  1.5uA @ 1000um

磁敏感性 (SQUID)

15 pT/√Hz Typical

成像深度 (SQUID)

10mm

工作頻率 (SQUID)

DC to 25kHz

HiRes 傳感器

短路缺陷定位  (HiRes)

250nm

空間分辨率 (HiRes)

500nm

總掃描面積 (HiRes)

At least 100mm by   100mm

當(dāng)前靈敏度 (HiRes)

·  5uA @ 2um

·  100uA @ 100um

磁敏感性 (HiRes)

10nT/√Hz Typical

工作頻率 (HiRes)

10kHz to 200kHz

成像深度 (HiRes)

<100um

Opens斷路

斷路缺陷定位 (SDR)

30um

成像深度 (Opens)

<500um

工作頻率 (Opens)

20MHz to 200MHz

其他參數(shù)

功能發(fā)電機(jī)

±10V @ 100mA

功能發(fā)電機(jī)頻率

DC to 200kHz

鏡頭分辨率

2um (in NIR or   Visible)

電源

·  110 - 120V @   20A

·  220 - 240V@ 10A

操作系統(tǒng)

Windows 10 64-bit


該儀器是檢測(cè)模具、封裝或PC板水平上所有類型靜態(tài)缺陷(短路、泄漏、高電阻開啟和斷路開啟)的很好的工具。該儀器結(jié)合了兩個(gè)傳感器的功能,實(shí)現(xiàn)了很好的靈敏度和亞微米的分辨率的統(tǒng)一。這允許單個(gè)系統(tǒng)可以處理靜態(tài)缺陷。
1.解決了靜態(tài)缺陷:短路、泄漏和斷路。
2.三維缺陷定位計(jì)算樣本表面到當(dāng)前路徑的距離,當(dāng)直流電跡可用時(shí),新的軟件能夠在三維重建當(dāng)前路徑。
3.由于磁場(chǎng)滲透材料,SQUID 傳感器可以很自然的發(fā)現(xiàn)封裝短路故障。
4.使用大于500nm空間分辨率的HiRes傳感器定位模具短路。磁場(chǎng)分辨率不受波長的限制,只受傳感器尺寸和掃描距離的限制。
5.在500nA電流靈敏度下,可以發(fā)現(xiàn)ω電阻的泄漏。
6.使用SDR技術(shù),在檢測(cè)電流產(chǎn)生的射頻磁場(chǎng)時(shí),應(yīng)用高頻信號(hào)(20MHz至200MHz),可以發(fā)現(xiàn)故障。

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